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高階專業維修｜磁流體、E-Chuck、Robot、Heater
耕星科技提供 LCD／FURNACE／IMPLANT 磁流體、MCA E-Chuck、JEL／Genmark／PRI／Brooks Robot 與 Producer／TEL、PVD／CVD Heater 維修評估。
各式磁流體專業維修
LCD 磁流體、FURNACE 爐管磁流體及 IMPLANT 離子植入設備磁流體，依原件狀況進行維修評估。
各式 E-Chuck 靜電吸盤維修
MCA E-Chuck 與各式 E-Chuck 靜電吸盤，提供檢測、維修可行性與設備配合需求洽詢。
Robot 手臂維修
JEL、Genmark、PRI、Brooks 等 Robot 手臂維修與檢測洽詢。請提供品牌、型號、錯誤訊息與故障動作，依實際狀況評估。
Producer／TEL Heater、PVD／CVD Heater
Producer／TEL Heater，以及 PVD／CVD 製程加熱器專業維修洽詢。依料號、使用溫度、故障現象及原件狀況確認服務範圍。
規格與服務洽詢
提供產品照片、設備型號、晶圓尺寸與製程需求，協助確認設備設計或維修方案。聯絡耕星 ↗ 李先生 0935-665508 傳真：03-5506767 LINE：ryder1205